芯源微:将召开浸没式高产能涂胶显影机新品发布会

2022-12-15 19:44:33 来源:上海证券报·中国证券网 作者:孔子元

  上证报中国证券网讯(记者 孔子元)芯源微公告,公司定于12月17日上午10:30召开浸没式高产能涂胶显影机新品发布会。本次发布的产品为公司最新的前道浸没式高产能涂胶显影机。该机型采用公司独创的对称分布高产能架构,满配36 Spin 处理单元,搭载公司自主研发的双向同步取放机械手,可大幅提升整机的机械传送产能和传送精度,能够匹配全球主流光刻机联机生产。