上海新阳:ASML-1400光刻机已进入合作方场地

2021-03-08 18:56:30 来源:上海证券报·中国证券网 作者:骆民

  上证报中国证券网讯(记者 骆民)上海新阳披露关于ASML-1400光刻机进展的公告,该光刻机设备于今日已进入合作方北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司场地,后续将进行安装调试等相关工作。