晶瑞股份:顺利购得一台ASML XT 1900 Gi 型光刻机

2021-01-19 21:10:06 来源:上海证券报·中国证券网 作者:骆民

  上证报中国证券网讯(记者 骆民)晶瑞股份公告,公司顺利购得ASML XT 1900 Gi 型光刻机一台。该设备于2021年1月19日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。下一步,公司将积极组织相关资源,尽快完成设备的安装调试工作。公司采购的光刻机设备为ASML XT 1900 Gi 型ArF浸入式光刻机,可用于研发最高分辨率达28nm的高端光刻胶。公司表示,本次采购的ASML光刻机设备的顺利交付,可以保障公司集成电路制造用高端光刻胶研发项目关键设备的技术先进性,对加快产品研发项目进度有积极影响。