新型显示装备取得重要突破 迈为股份向天马供应Micro LED巨量转移设备
上证报中国证券网讯 12月26日，天马新型显示技术研究院（厦门）有限公司举行首台设备搬入仪式，搬入的设备为Micro LED巨量转移设备，由迈为股份自主研发、设计、制造。该设备采用激光巨量转移技术，利用特殊整形后的方形匀化光斑，结合高速度高精度振镜扫描，可以实现高效率及高品质的加工，将微米级Micro LED晶粒批量转移到目标基板上。
Micro LED巨量转移设备是Micro LED制程中的核心装备及高价值装备之一，是影响Micro LED良率与制造成本的关键。在前期的产品验证阶段，迈为股份和天马新型显示技术研究院基于各自的专业领域携手合作，迈为从整线设备方案出发优化设备结构设计与激光工艺技术，天马新型显示技术研究院从芯片与胶材开发方面提升工艺窗口，最终成功实现大范围三色拼接转移验证，且转移后无明显尘粒（particle），落位精度及偏转角度均达到行业领先水平。今年6月30日，双方就此款设备达成采购订单。
除Micro LED巨量转移之外，迈为还与天马新型显示技术研究院在激光剥离、激光键合设备及工艺领域协力开发，致力于共同开创基于TFT（薄膜晶体管）技术的Micro LED技术新纪元。（宁晖）
