芯碁微装前三季度净利润增加近4成
上证报中国证券网讯 10月29日，芯碁微装发布三季度报告。公司前三季度营业收入4.11亿元，同比增加41.02%；归属上市公司股东的净利润8778.37万元，同比增加38.88%。
据悉，2022年9月，芯碁微装首台WLP2000晶圆级封装直写光刻机成功发运昆山龙头封测工厂。同月，另一台WLP2000直写光刻机发往成都交付给Micro-LED前沿研制单位。WLP2000采用最先进的数字光刻技术，无需掩模板，可直接将版图信息转移到涂有光刻胶的衬底上，主要应用于8inch/12inch集成电路先进封装领域，包括Flip Chip、Fan-In WLP、 Fan-Out WLP和2.5D/3D等先进封装形式。WLP2000系统采用多光学引擎并行扫描技术，具备自动套刻、背部对准、智能纠偏、WEE/WEP功能，在RDL、Bumping和TSV等制程工艺中优势明显。
芯碁微装表示，未来将加大研发力量，不断推进直写光刻机在半导体领域的广泛应用，实现“IC装备 世界品牌”的企业愿景。（孟晓红）
