清科匠芯 集成电路关键装备制造商华海清科今日登陆科创板
上证报中国证券网讯 6月8日，华海清科股份有限公司（股票简称：华海清科）成功在上海证券交易所科创板上市。
华海清科创立于2013年，凭借多年技术积累和沉淀，打破了国际厂商垄断，成为目前国内唯一实现12英寸系列CMP设备量产销售的半导体设备供应商，在国产化需求越来越迫切的市场中及时为客户贡献产能并不断实现自身的跨越式发展。
清华赋能、科研实力强劲
清华大学是国内率先从事CMP基础原理研究的高校之一，清华大学摩擦学国家重点实验室自2000年起持续开展抛光原理研究和关键技术攻关，并于2008年10月承担了国家02专项“65-45nm铜互连无应力抛光设备研发”项目下属课题“超低下压力CMP系统研制及工艺开发”。通过该专项课题的实施，清华大学掌握了CMP系列关键技术。
2013年4月，清华大学为践行“京津冀一体化”战略，推动我国化学机械抛光技术和设备产业化，促进学校科技成果转化，与天津市政府达成合作意向后，合资成立了华海清科有限公司，清华大学将前期与CMP设备产业化相关的专利和技术以科技成果转化的形式出资注入公司。原清华大学摩擦学国家重点实验室CMP核心团队成员以“带土移植”的方式加入到公司并吸纳集成电路行业专业人才，形成了完整的产业化人才队伍。
华海清科通过自主研发及不断突破创新，陆续推出了适用于集成电路前道晶圆制造领域的Universal-300、Universal-300 Plus、Universal-300 Dual、Universal-300 X、Universal-300 T、Universal-200 Plus等一系列12英寸CMP主力机型产品以及8英寸CMP系列产品。
据公开资料，华海清科近三年累计研发投入达22264.11万元，占累计营业收入的比例达15.88%。截至2021年底，华海清科共拥有209项专利，并已拥有一支高学历、多学科、梯队建设完善的强大研发团队，具备独立、完整的研发体系和研发能力，研发人员由成立之初的10余人增加到224人，占员工总数32.37%。基于强大研发能力及优秀的研发团队，华海清科获批设立院士专家工作站及博士后科研工作站，并荣获国家企业技术中心、制造业单项冠军示范企业、国家专精特新“小巨人”企业等多个奖项或荣誉。另外，华海清科还形成了国内领先的CMP研发实验平台，并拥有先进的检测仪器及工艺开发平台，具备进行CMP相关领域技术开发及产业化应用的独立研发场所及完整的软硬件设施条件，并在CMP关键技术突破、新产品研发、新工艺开发与改进等方面形成一系列科技成果，成为国内唯一的为集成电路制造商提供12英寸CMP商业机型的高端半导体设备制造商。
不断突破、攻克关键技术
自成立以来，华海清科以市场需求为导向进行持续研发创新，并不断实现CMP关键技术突破，已独立开发出硅、非金属介质、金属薄膜等不同介质的CMP成套工艺，其产品的设备产出速率、机台稳定运行时间、片内均匀性、片间均匀性等性能指标均达到国际同类设备水平，在逻辑芯片制造、3D NAND制造、DRAM制造等领域的工艺技术水平已分别突破至14nm、128层、1X/1Ynm，均为当前国内大生产线的最高水平。
2015年，华海清科独立承担了国家科技02重大专项“28-14nm抛光设备及工艺、配套材料产业化”项目下属“CMP抛光系统研发与整机系统集成”的产业化课题，其相关科技成果已实现产业化应用。2020年，华海清科独立承担了两个CMP相关的国家级重大专项课题和1个减薄产品相关的国家级重大专项课题。
2020年，华海清科面向未来3D IC等先进封装领域的市场需求，研发了集先进减薄、CMP和清洗技术于一体的12英寸减薄抛光一体机，国际上尚无同类产品。减薄抛光一体机用于3D IC等先进封装领域的晶圆背面减薄环节，以实现超精密磨削和CMP全局平坦化的有机整合集成，推进系统级封装与3D NAND多层堆叠等先进工艺，具有更高效率与综合性价比，目前已按照华海清科所承担的国家级重大专项课题任务书约定进行大生产线考核验证。
乘势而上、客户认可度倍增
全球CMP设备市场处于高度垄断状态，主要由美国应用材料和日本荏原两家设备制造商占据，两家制造商合计拥有全球CMP设备超过90%的市场份额。华海清科CMP设备自2018年进入量产阶段以来，依托稳定的性能、突出性价比和良好的售后服务优势，已成功应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、大连英特尔、长鑫存储、厦门联芯、广州粤芯、上海积塔、荣芯半导体等国内外主要集成电路制造厂商，在国内CMP设备市场的占有率不断提升。据中国国际招标网上公布的2019年至2021年期间采取公开招标的CMP设备采购项目的中标结果，2019年至2021年期间华海清科CMP设备中标占比分别为21.05%、40.24%和44.26%，公司在国内CMP设备市场的占有率亦正得到跨越式增长。（胡焱）
