金宏气体入选2021年江苏省科技成果转化专项资金拟立项项目

　　上证报中国证券网讯  近日，2021年江苏省科技成果转化专项资金拟立项项目进行公示，共89个项目入选。其中，金宏气体的集成电路用电子级正硅酸乙酯的研发及产业化项目入选。

　　据悉，江苏省科技成果转化专项资金立项项目是江苏省财政预算常年安排的单项资助金额最大的项目，因入选项目科技含金量高、所获支持力度大而备受关注。

　　据悉，金宏气体入选项目的目标产品为集成电路中制备外延材料时使用的电子级正硅酸乙酯（TEOS），属于微电子高端化学品，是第三代半导体材料和新兴半导体产业中重要的前驱体材料，需要严格控制金属离子杂质的含量。

　　项目研发过程中，金宏气体凭借十几年电子气体开发经验，克服电子级TEOS纯化过程中金属离子等杂质难以去除、痕量金属难检测、设备、管道、包装容器易污染等多项技术难题，形成了具有自主知识产权的电子级TEOS纯化、检测、过滤、充装技术。

　　金宏气体表示，目标产品的大规模生产，将促进我国半导体行业的发展，项目研发对实现国内集成电路电子材料的自主可控以及国产化具有十分重要的意义。

　　资料显示，金宏气体成立于1999年，于2020年6月在科创板上市。公司是专业从事气体研发、生产、销售和服务一体化解决方案的环保集约型气体综合供应商，主要为客户提供各种大宗气体、特种气体和天然气的一站式供气解决方案。

　　据介绍，金宏气体建设有国家企业技术中心、国家博士后科研工作站、省级高纯特种气体工程中心，先后获评国家专精特新“小巨人”企业、国家火炬计划重点高新技术企业等。（张雷）